微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

主管：中国科学技术协会

主编：许毅达

ISSN 1000-1093

主办：中国兵工学会

出版：《兵工学报》编辑部

CN 11-2176/TJ

《兵工学报》是我国国防科技领域最具影响力的学术期刊之一，创刊于1979年，目前被国内所有重要数据库收录，其综合评价指标近年来一直名列兵工技术类科技期刊的首位；《兵工学报》目前还被国际上著名的检索机构美国......

微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

:王彤宇;潘毓学;:吴ー辉;贾宏光

Study on the Micro-Torque Measurement for Micro-Actuators in MEMS

:Wang Tongyu;Pan Yuxue;:Wu Yihui

兵工学报 . 2002, (2): 228 -230 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2002.02.021