微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2002.02.021

兵工学报 ›› 2002, Vol. 23 ›› Issue (2) : 228-230. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2002.02.021

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微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究

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Study on the Micro-Torque Measurement for Micro-Actuators in MEMS

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收稿日期	修回日期	出版日期
2001-04-01	2002-03-01	2002-06-29
发布日期
2014-12-25

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