高过载三维MEMS加速度传感器敏感芯片设计仿真与优化

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2008.06.010

兵工学报 ›› 2008, Vol. 29 ›› Issue (6) : 690-696. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2008.06.010

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高过载三维MEMS加速度传感器敏感芯片设计仿真与优化

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Design, Simulation and Optimization of Sensing Chip of High-g- Three-axis MLMS Accelerometer

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收稿日期	出版日期
2007-03-20	2008-06-30
发布日期
2014-12-25

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