材底温度对中频磁控溅射ZnO:Al透明导电薄膜性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2006.05.027

兵工学报 ›› 2006, Vol. 27 ›› Issue (5) : 891-894. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2006.05.027

实验技术与分析

材底温度对中频磁控溅射ZnO:Al透明导电薄膜性能的影响

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Substrate Temperature Dependence of the Properties 01 ZnO：Al Thin Films Prepared by Mid-frequency Sputtering

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收稿日期	出版日期
2006-03-14	2006-10-31
发布日期
2014-12-25

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