超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.1999.01.025

兵工学报 ›› 1999, Vol. 20 ›› Issue (1) : 94-96. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.1999.01.025

研究简报

超精密机床工作台运行误差的测量与补偿

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Measurement and Compensation of the Movement Error of Working Table in Ultraprecision Machine Tools

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收稿日期	修回日期	出版日期
1997-10-01	1998-09-01	1999-03-31
发布日期
2014-12-25

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