微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.1997.01.017

兵工学报 ›› 1997, Vol. 18 ›› Issue (1) : 73-76. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.1997.01.017

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微波CVD法在硬质合金工具表面合成金刚石薄膜的研究

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A Study of Diamond Films Deposited on Hard Alloy Tools Through Microwave CVD

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收稿日期	修回日期	出版日期
1996-03-01	1996-12-01	1997-03-31
发布日期
2014-12-25

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