非晶硅的应用研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.1988.03.003

兵工学报 ›› 1988, Vol. 9 ›› Issue (3) : 15-20. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.1988.03.003

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非晶硅的应用研究

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Investigation on the Application of Hydrogenated Amorphous Silicon Films

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收稿日期	修回日期	出版日期
1986-12-10	1987-08-01	1988-09-30
发布日期
2014-12-25

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