基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法

主管：中国兵器工业集团有限公司

主编：纪明

ISSN 1002-2082

CN 61-1171/O4

主办：中国兵器工业第二〇五研究所
　　　中国兵工学会

出版：《应用光学》编辑部

《应用光学》创刊于1980年，国内外公开发行，刊号为ISSN 1002-2082, CN-61-1171/O4,是中国兵器工业第二Ο五研究所和中国兵工学会主办的技术类期刊，2006年4月被收录为“中国科技核心期刊”，2008年12月被收录为“中文核心期刊”，是美国《化学文摘》（CA）、《剑桥科学文摘》（CSA）、俄罗斯《文摘杂志》（AJ）、英国《科学文摘》（INSPEC）、《乌利希期刊指南》（UIPD）、荷兰Scopus等国际重要检索机构的收录期刊。

基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法

胡乔伟;高志山;袁群;黄旭;孙一峰;王灵杰;张建萍

Synchronous phase-shifting microscopic interference focal detection method based on wave aberration criteria

HU Qiaowei;GAO Zhishan;YUAN Qun;HUANG Xu;SUN Yifeng;WANG Lingjie;ZHANG Jianping

应用光学 . 2021, (4): 703 -708 . DOI: 10.5768/JAO202142.0403002