基于波像差判据的同步相移显微干涉检焦方法

doi:10.5768/JAO202142.0403002

应用光学 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (4) : 703-708. DOI: 10.5768/JAO202142.0403002

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Synchronous phase-shifting microscopic interference focal detection method based on wave aberration criteria

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收稿日期	修回日期	出版日期
2021-02-07	2021-03-25	2021-07-15
发布日期
2021-07-15

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