强电磁脉冲对硅微惯性传感器的损伤效应研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2020.06.012

兵工学报 ›› 2020, Vol. 41 ›› Issue (6) : 1157-1164. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2020.06.012

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强电磁脉冲对硅微惯性传感器的损伤效应研究

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Damage Effect of Strong Electromagnetic Pulse on Micro-silicon Inertial Sensor

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收稿日期	修回日期	出版日期
2019-07-17	2019-07-17	2020-06-30
发布日期
2020-08-07

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