基于低能电子束的绝缘物-半导体样品放电特性研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2019.12.014

兵工学报 ›› 2019, Vol. 40 ›› Issue (12) : 2497-2503. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2019.12.014

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基于低能电子束的绝缘物-半导体样品放电特性研究

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Research on Discharge Characteristics of Insulator-semiconductor Samples Based on Low-energy Electron Beam

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收稿日期	修回日期	出版日期
2018-10-26	2018-10-26	2019-12-31
发布日期
2020-02-14

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