硅微通道板微加工技术研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2018.09.018

兵工学报 ›› 2018, Vol. 39 ›› Issue (9) : 1804-1810. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2018.09.018

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硅微通道板微加工技术研究

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Micromachining Processes for Si Microchannel Plates

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收稿日期	修回日期	出版日期
2017-12-22	2017-12-22	2018-09-21
发布日期
2018-10-25

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