一种新型压电式偏摆平台的设计与性能测试

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2018.05.015

兵工学报 ›› 2018, Vol. 39 ›› Issue (5) : 952-960. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2018.05.015

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一种新型压电式偏摆平台的设计与性能测试

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Design and Performance Test of a Novel Piezo-scanning Stage

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收稿日期	修回日期	出版日期
2017-10-20	2017-10-20	2018-05-30
发布日期
2018-06-22

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