陶瓷基体表面粗糙度对Ni-Cr薄膜换能元性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2011.05.007

兵工学报 ›› 2011, Vol. 32 ›› Issue (5) : 548-553. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2011.05.007

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陶瓷基体表面粗糙度对Ni-Cr薄膜换能元性能的影响

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Effect of Substrate Surface Roughness on the Properties of Ni-Cr Alloy Thin Film Transducer Elements

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收稿日期	修回日期	出版日期
2010-05-04	2010-05-04	2011-05-31
发布日期
2014-05-04

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