一种新型电容式压力传感器的研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2011.04.016

兵工学报 ›› 2011, Vol. 32 ›› Issue (4) : 476-481. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2011.04.016

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一种新型电容式压力传感器的研究

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Study on a Novel Capacitive Pressure Sensor

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收稿日期	修回日期	出版日期
2010-02-09	2010-02-09	2011-04-30
发布日期
2014-05-04

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