808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究

doi:10.3969/j.issn.1000-1093.2010.02.015

兵工学报 ›› 2010, Vol. 31 ›› Issue (2) : 209-213. DOI: 10.3969/j.issn.1000-1093.2010.02.015

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808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究

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Study on the Wet Oxidation Process in 808nm VCSEL

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收稿日期	修回日期	出版日期
2008-06-10	2008-06-10	2010-02-27
发布日期
2014-05-04

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