d<sub>31</sub>模式四悬臂梁压电MEMS加速度计

doi:10.12382/bgxb.2021.0464

兵工学报 ›› 2022, Vol. 43 ›› Issue (8) : 1998-2006. DOI: 10.12382/bgxb.2021.0464

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d₃₁模式四悬臂梁压电MEMS加速度计

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Piezoelectric MEMS Accelerometer With d₃₁ Mode Cantilever Structure

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2022-08-26
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2022-05-30	2022-05-30

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