一个非晶硅薄膜太阳能电池制备用激光刻线系统
肖光辉;覃海;蓝劾;叶健;杨明生;潘龙法
Laser scribing system for a-Si thin film solar cell preparation
XIAO Guang-hui;QIN Hai;LAN He;YE Jian;YANG Ming-sheng;PAN Long-fa
应用光学 . 2011, (5): 1016 -1021 .