数字微镜器件制造精度误差对紫外光调制特性的影响
袁晓峰;浦东林;申溯;陈林森
Phase modulation properties of digital micromirror device in UV beam
YUAN Xiao-feng;PU Dong-lin;SHEN Su;CHEN Lin-sen
应用光学 . 2012, (4): 788 -792 .