一种用于MOCVD石墨盘的红外测温装置
杨超普;方文卿;阳帆;刘苾雨;李春;张美丽;韩茜;刘彦峰
Infrared thermometry apparatus for MOCVD graphite plate
Yang Chaopu;Fang Wenqing;Yang Fan;Liu Biyu;Li Chun;Zhang Meili;Han Xi;Liu Yanfeng
应用光学 . 2018, (4): 579 -584 .  DOI: 10.5768/JAO201839.0406002