具有位移和绝对距离测量能力的回馈干涉系统

李铎;万新军;张书练

应用光学 ›› 2007, Vol. 28 ›› Issue (4) : 496-500.

应用光学 ›› 2007, Vol. 28 ›› Issue (4) : 496-500.

具有位移和绝对距离测量能力的回馈干涉系统

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Laser feedback interferometric system for both displacement and absolute distance measurement

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