测量大口径光学元件反射率用精密扫描系统误差分析

张彪;张金玉;吉晓;段园园;吴磊;黎高平;于东钰;阴万宏

应用光学 ›› 2023, Vol. 44 ›› Issue (2) : 380-385.

应用光学 ›› 2023, Vol. 44 ›› Issue (2) : 380-385. DOI: 10.5768/JAO202344.0203003

测量大口径光学元件反射率用精密扫描系统误差分析

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Error analysis of precision scanning system for measuring reflectivity of large-aperture optical elements

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