45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究

李俊;李嘉伟;张鼎博;刘旭;李阔;马天;王伟峰;翟小伟

应用光学 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (3) : 557-564.

应用光学 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (3) : 557-564. DOI: 10.5768/JAO202142.0308001

45°光纤微反射镜聚焦离子束加工及多轴位移检测研究

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Research on focused ion beam processing of 45˚ optical communication fiber mirror and multi-axis displacement detection

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