基于光学相干测振系统的微悬臂梁缺陷检测

doi:10.5768/JAO202142.0203003

应用光学 ›› 2021, Vol. 42 ›› Issue (2) : 304-309. DOI: 10.5768/JAO202142.0203003

基于光学相干测振系统的微悬臂梁缺陷检测

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Defect detection of micro-cantilever beams based on optical coherence vibrometer system

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收稿日期	修回日期	出版日期
2020-11-17	2020-12-30	2021-03-15
发布日期
2021-03-15

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