圆光栅测角系统误差分析与修正

doi:10.5768/JAO201940.0301007

应用光学 ›› 2019, Vol. 40 ›› Issue (3) : 399-403. DOI: 10.5768/JAO201940.0301007

圆光栅测角系统误差分析与修正

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Error analysis and correction of circular grating angle measurement system

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收稿日期	修回日期	出版日期
2018-12-03	2018-12-27	2019-05-15
发布日期
2019-05-15

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