射频聚焦离子源熔石英高确定去除特性研究

doi:10.5768/JAO201940.0203002

应用光学 ›› 2019, Vol. 40 ›› Issue (2) : 284-290. DOI: 10.5768/JAO201940.0203002

射频聚焦离子源熔石英高确定去除特性研究

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Research on high deterministic removal characteristics of fused quartz using RF focused ion beam source

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收稿日期	修回日期	出版日期
2018-01-05	2018-10-31	2019-03-15
发布日期
2019-03-15

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