静/动态刻蚀对熔石英表面质量和激光损伤的影响

doi:10.5768/JAO201738.0507003

应用光学 ›› 2017, Vol. 38 ›› Issue (5) : 837-843. DOI: 10.5768/JAO201738.0507003

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Effect of static/dynamic etching on surface quality andlaser-induced damage of fused silica

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收稿日期	修回日期	出版日期
2017-03-09	2017-04-19	2017-09-15
发布日期
2017-09-15

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