用于数字光刻的非对称式投影物镜设计

邝健;周金运;郭华

应用光学 ›› 2016, Vol. 37 ›› Issue (1) : 52-56.

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  • 主管：中国兵器工业集团有限公司

    主编：纪明

    ISSN 1002-2082

    CN 61-1171/O4

  • 主办：中国兵器工业第二〇五研究所
    　　　中国兵工学会

    出版：《应用光学》编辑部

《应用光学》创刊于1980年，国内外公开发行，刊号为ISSN 1002-2082, CN-61-1171/O4,是中国兵器工业第二Ο五研究所和中国兵工学会主办的技术类期刊，2006年4月被收录为“中国科技核心期刊”，2008年12月被收录为“中文核心期刊”，是美国《化学文摘》（CA）、《剑桥科学文摘》（CSA）、俄罗斯《文摘杂志》（AJ）、英国《科学文摘》（INSPEC）、《乌利希期刊指南》（UIPD）、荷兰Scopus等国际重要检索机构的收录期刊。
应用光学 ›› 2016, Vol. 37 ›› Issue (1) : 52-56. DOI: 10.5768/JAO201637.0101009

用于数字光刻的非对称式投影物镜设计

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Design of non-symmetrical projection lens for digital lithography

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}. 2016, 37(1): 52-56 https://doi.org/10.5768/JAO201637.0101009
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}. 2016, 37(1): 52-56 https://doi.org/10.5768/JAO201637.0101009
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightStatement_cn}}
{{article.copyrightLicense_cn}}

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